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光刻机有多大
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光刻机有多大

2023-08-05 精选百科 By:佚名
最佳答案根据情况而定。光刻机大小分为台式、小型、中型和大型四种。台式适用于微型元器件,重量不到几十公斤。小型适用于生产更复杂的微型元器件,尺寸从1平方米到5平方米不等,重量在百公斤级别。中型适用于制造大型元器件,尺寸从5平方米到20平方米不等,重量在数百公斤级别。大型适用于大尺寸芯片和显示...

根据情况而定。光刻机大小分为台式、小型、中型和大型四种。台式适用于微型元器件,重量不到几十公斤。小型适用于生产更复杂的微型元器件,尺寸从1平方米到5平方米不等,重量在百公斤级别。中型适用于制造大型元器件,尺寸从5平方米到20平方米不等,重量在数百公斤级别。大型适用于大尺寸芯片和显示器件的制造,尺寸超过20平方米,重量在数百公斤至数吨之间。

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