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1、 李超波，男，中国科学院微电子研究所微电子学与固体电子学工学博士。

2、现任职于中国科学院微电子研究所，微电子仪器设备研发中心副主任、研究员，中科院青联委员。

3、北京市生产力促进中心特聘责任专家，其主要研究方向为新原理纳米加工工艺与装备、MEMS制造与传感技术、智能装备。

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